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廣東省工程技術(shù)研究中心
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MSK-PSP-FE1010 閃蒸成膜儀

應(yīng)用范圍:MSK-PSP-FE1010閃蒸成膜儀是一款輔助成膜結(jié)晶設(shè)備。本設(shè)備主要針對(duì)于溶液法制備鈣鈦礦薄膜工藝所設(shè)計(jì),設(shè)備可以創(chuàng)造真空條件,在真空條件下液體沸點(diǎn)降低,加快溶劑揮發(fā),有利于鈣鈦礦薄膜的形成。經(jīng)閃蒸處理后的薄膜結(jié)晶致密均勻。該設(shè)備適合實(shí)驗(yàn)室及科研單位對(duì)鈣鈦礦薄膜研制使用。

產(chǎn)品型號(hào):

設(shè)備尺寸:約L410mmXW220mmXH220mm

重量:約20KG

上架時(shí)間:2025-03-04

版本號(hào):V1.0

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       MSK-PSP-FE1010閃蒸成膜儀是一款輔助成膜結(jié)晶設(shè)備。本設(shè)備主要針對(duì)于溶液法制備鈣鈦礦薄膜工藝所設(shè)計(jì),設(shè)備可以創(chuàng)造真空條件,在真空條件下液體沸點(diǎn)降低,加快溶劑揮發(fā),有利于鈣鈦礦薄膜的形成。經(jīng)閃蒸處理后的薄膜結(jié)晶致密均勻。該設(shè)備適合實(shí)驗(yàn)室及科研單位對(duì)鈣鈦礦薄膜研制使用。
  功能特點(diǎn)
  • 獨(dú)特的真空管道設(shè)計(jì),抽真空時(shí)氣流平穩(wěn),成膜更均勻;
  • 大功率真空泵,抽真空速度快,更有利于溶劑揮發(fā);
  • 內(nèi)置真空壓力測(cè)量傳感器,程序控制抽真空與泄壓,操作便捷;
  • 配備手動(dòng)調(diào)節(jié)進(jìn)氣閥,可控制泄壓時(shí)氣流大小;
  • 上蓋配備玻璃視窗,便于觀察成膜過(guò)程;
  • 可更換抽氣口方向,可選擇側(cè)面或后面(默認(rèn)側(cè)面,有其他方向需要請(qǐng)備注)。
  技術(shù)參數(shù)
電源 本體:?jiǎn)蜗郃C220V±10%,頻率50Hz,功率約1.2W
極限壓力 本體:2Pa
真空泵:≤5x10?1Pa
抽速 5秒,壓力降至10Pa
10秒,壓力降至5Pa
(以上數(shù)據(jù)均為在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境,腔體內(nèi)無(wú)水無(wú)油空腔狀態(tài)下測(cè)得)
漏率 ≤5X10??Pa·m3/s
基材尺寸 Max L100mmxW100mmxH10mm
設(shè)備本體尺寸 約L410mmXW220mmXH220mm
真空泵尺寸 約L650mmXW210mmXH580mm(含過(guò)濾器高度)
設(shè)備本體重量 約20KG
真空泵重量 約63KG
暫無(wú)內(nèi)容
暫無(wú)內(nèi)容

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