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PCE-6 小型等離子清洗機

應用范圍:PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為?160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz1%),輸出功率7.2W10.2W29.6W三檔可調。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。

產品型號 :PCE-6

上架時間 :2019-09-03

安裝尺寸:約L400*W300*H300mm(不含真空泵)

重量:約10.2kg(不含真空泵)

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       PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為?160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。
  功能特點
  • 通過控制面板的按鍵及開關,可控制調節射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間;
  • 時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數碼管上;
  • 設有一個三通閥,可精確控制進氣流量,以及大氣流清洗腔體,進氣接口為6mm卡套接口;
  • 選用大功率射頻電源設備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗;
  • 設備可實現清洗及蝕刻功能如下:
    1
  技術參數
電源 單相AC220V±10%,頻率:50Hz/60Hz,總功率約600W(含真空泵)
輸出功率 7.2W、10.2W、29.6W
射頻頻率 3.0MHz,功率3檔可手動調節
等離子腔體 高純石英腔體,?160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進行密封,法蘭上設有?45mm的觀察窗
真空泵 標配直連式雙旋真空泵,流量120L/min,功率約500W
極限真空度 50mtorr
通入氣體 可通入多種氣體來產生等離子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等(根據材料性質選定)
外形尺寸 約L400*W300*H300mm(不含真空泵)
重量 約10.2kg(不含真空泵)
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