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廣東省工程技術研究中心
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EQ-TM106 膜厚監測儀

應用范圍:EQ-TM106膜厚監測儀是采用石英晶體振蕩原理,結合先進的頻率測量技術,進行膜厚的在線監測。主要應用于MBEOLED熱蒸發、磁控濺射等設備的薄膜制備過程中,對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監測。根據實時速率可以輸出PWM模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調節儀和蒸發電源配合實現蒸發源的閉環速率控制。

產品型號 :EQ-TM106

上架時間 :2019-09-02

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       EQ-TM106膜厚監測儀是采用石英晶體振蕩原理,結合先進的頻率測量技術,進行膜厚的在線監測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發、磁控濺射等設備的薄膜制備過程中,對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監測。根據實時速率可以輸出PWM模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調節儀和蒸發電源配合實現蒸發源的閉環速率控制。

 性能指標和基本配置
主要特點

● 本機可與計算機連接。
● 顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優點,可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM
● 控制輸出的百分比等工作狀態。
● 通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數、輸出量程及通訊參數等進行設置,并可將所測相關數據寫入Excel文件。
● 具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優點。

EQ-TM106-1監測組件

● 電源:DC   5V(±10%),最大電流400mA
● 頻率分辨率:±0.03Hz
● 膜厚分辨率:0.0136?(鋁)
● 膜厚準確度:±0.5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置,材料應力,溫度和密度
● 測量速度:100ms-1s/次,可設置
● 測量范圍:500000?(鋁)
● 標準傳感器晶體:6MHz
● 計算機接口:RS-232/485串行接口(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置,數據位:8,停止位:1,校驗:無)
● 模擬輸出:8比特分辨率,PWM脈寬調制輸出(集電極開路或內部5V輸出)
● 工作環境:溫度0-50℃,濕度5%-85%RH,不得有冷凝水珠
● 外形尺寸:90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2顯示儀

● 輸入電源:AC 220V±10%
● 輸出電源:DC   5V  3A
● 顯示器:12×2數碼管與LED
● 通訊端口:RS-485(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置,數據位:8位,停止位:1位  ,奇偶校驗:無)
● 外形尺寸:182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3探頭

● 適用晶片頻率:6MHz
● 適用晶片尺寸:Φ14mm
● 安裝法蘭:CF35
● 冷卻水管:Φ3mm,長度300mm、500mm、1000mm
● 冷卻水壓:<0.3MPa
● 氣動擋板路管:Φ3mm
● 壓縮空氣壓力:
● 烘烤溫度:通水狀態<200℃,不通水狀態法蘭<100℃
● 電氣接口:BCN插座

標準配件

1EQ-TM106-1監測組件1個2EQ-TM106-2顯示儀1臺3EQ-TM106-3探頭1個

保修期 一年保修,終身技術支持。
點擊查看售后服務承諾書。
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