應用范圍:EQ-TM106膜厚監測儀是采用石英晶體振蕩原理,結合先進的頻率測量技術,進行膜厚的在線監測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發、磁控濺射等設備的薄膜制備過程中,對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監測。根據實時速率可以輸出PWM模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調節儀和蒸發電源配合實現蒸發源的閉環速率控制。
產品型號 :EQ-TM106
上架時間 :2019-09-02
EQ-TM106膜厚監測儀是采用石英晶體振蕩原理,結合先進的頻率測量技術,進行膜厚的在線監測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發、磁控濺射等設備的薄膜制備過程中,對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監測。根據實時速率可以輸出PWM模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調節儀和蒸發電源配合實現蒸發源的閉環速率控制。
性能指標和基本配置 | ||||||
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主要特點 |
● 本機可與計算機連接。 |
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EQ-TM106-1監測組件 |
● 電源:DC 5V(±10%),最大電流400mA |
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EQ-TM106-2顯示儀 |
● 輸入電源:AC 220V±10% |
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EQ-TM106-3探頭 |
● 適用晶片頻率:6MHz |
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標準配件 |
1EQ-TM106-1監測組件1個2EQ-TM106-2顯示儀1臺3EQ-TM106-3探頭1個 |
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保修期 |
一年保修,終身技術支持。 點擊查看售后服務承諾書。 |
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