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ZF-MFC-1C 質(zhì)量流量控制器

應(yīng)用范圍：ZZF-MFC-1C是一款防腐型單路氣體質(zhì)子流量控制器，結(jié)構(gòu)小巧，操作方便，可用于氣體流量的精確測量和控制，流量范圍0~100，200，300，500SCCM可選，可與本公司管式爐、CVD系統(tǒng)、熔煉鑄造爐、鍍膜設(shè)備等配套使用，直接數(shù)字設(shè)定流量，穩(wěn)定可靠，操作方便。

產(chǎn)品型號：ZF-MFC-1C

上架時間：2019-07-09

安裝尺寸：168mm L*30mm W*132mm H

重量：0.92kg

A^-A⁺

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ZF-MFC-1C是一款防腐型單路氣體質(zhì)子流量控制器，結(jié)構(gòu)小巧，操作方便，可用于氣體流量的精確測量和控制，流量范圍0~100，200，300，500SCCM可選，可與本公司管式爐、CVD系統(tǒng)、熔煉鑄造爐、鍍膜設(shè)備等配套使用，直接數(shù)字設(shè)定流量，穩(wěn)定可靠，操作方便。

性能指標(biāo)和基本配置
產(chǎn)品特點	● 防腐型單路氣體質(zhì)子流量控制器，結(jié)構(gòu)小巧 ● DC15V電壓驅(qū)動 ● 流量數(shù)顯設(shè)定顯示，穩(wěn)定可靠，操作方便 ● 流量范圍：0~100,200,300,500SCCM可選 ● 配備RS485計算機(jī)接口，同時可輸出4~20mA信號，用于計算機(jī)與遠(yuǎn)程儀表的連接控制 ● 標(biāo)配N2氣標(biāo)定
工作電源	● AC220V，50/60Hz，7.5W ● 配備AC220V轉(zhuǎn)DC15V電源適配器
流量范圍	0~100,200,300,500SCCM四種規(guī)格可選，特殊規(guī)格可定制
材質(zhì)	316不銹鋼閥體，耐腐蝕
準(zhǔn)確度	±2%FS
控制精度	±1%FS（恒流）
線性	±2%FS
工作壓差范圍	0.1~0.5MPa
最大工作壓力	0.5MPa
設(shè)定流量方式	鍵入式
進(jìn)出口閥門	Φ6.35mm卡套式接頭
工作環(huán)境溫度	-10~50℃
產(chǎn)品尺寸	168mm L30mm W132mm H
產(chǎn)品重量	0.92kg
使用注意事項	● ZF-MFC-1C可用于腐蝕性氣體的流量測量與控制，如NH3等 ● 出廠時采用氮氣（N2）標(biāo)定，如通入其他氣體時，需要對照說明書中不同氣體流量轉(zhuǎn)換系數(shù)表進(jìn)行流量換算 ● 注意工作壓差，使用時進(jìn)出氣兩端工作壓差在0.15~0.5MPa范圍內(nèi)
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點擊查看售后服務(wù)承諾書。

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