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GSL-LCD 多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)

應用范圍：GSL-LCD是一款多路質(zhì)量流量計控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜最大可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時，可將管式爐置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設定和狀態(tài)顯示都集中在一6"的觸摸屏上，同時可以實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設備廣泛的用于材料界中CVD實驗和各種材料的退火實驗。

產(chǎn)品型號：GSL-LCD

上架時間：2019-07-09

安裝尺寸：600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

A^-A⁺

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GSL-LCD是一款多路質(zhì)量流量計控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜最大可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時，可將管式爐置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設定和狀態(tài)顯示都集中在一6"的觸摸屏上，同時可以實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設備廣泛的用于材料界中CVD實驗和各種材料的退火實驗。

性能指標和基本配置
功能	雙通道	三通道	四通道	五通道
質(zhì)子流量控制器	工作溫度：5~45oC ? 最大壓力:3x106 Pa ? 精度: ±1.5% FS ? 重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路:1~199 SCCM 二路:1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用	工作溫度：5~45 oC 最大壓力: 3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用	工作溫度: 5~45 oC 最大壓力:3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用	工作溫度: 5~45 oC 最大壓力: 3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 五-九路可按照客戶要求定制
輸入電源	AC 220V/50Hz單相
功率	23W
PLC觸摸屏	● 各通道的氣路設定和查看都集中在一6"的觸摸屏上 ● RS485?通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進行遠程控制
機械壓力表	● 有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接 ● 量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
針閥	316?不銹鋼
通氣管道	● 內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管 ● 外部通氣管道為1/4”聚四氟管
混氣罐	Φ80X120mm
截止閥及配件	● 316不銹鋼針閥 ● Φ1/4”?不銹鋼管
外形尺寸	600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
相關產(chǎn)品	CVD & PECVD?管式爐 ??? ?（點擊圖片查看詳細資料）
質(zhì)量認證	CE認證
保修期	一年保修，終身技術支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點擊查看售后服務承諾書。

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GSL-LCD 多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)(控制面板為觸摸屏）（英文版操作視頻）

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