實驗設備（按工藝分）
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VTF-1600X-B下裝載爐 -
KSL-1400X-MW實驗型微波箱式爐 -
KSL-1700X-GS1700℃箱式氣氛爐 -
MSK-FPS-1311雙層帶式干燥機 -
MSK-FPS-1511帶式干燥機 -
UNIPOL-1203化學機械磨拋機 -
DFM系列工字雙面制備器 -
KSL-1000X1050℃防腐型箱式爐7.2L -
VTC-200PV真空旋轉涂膜機 -
SPC-32電動平面網印機 -
EQ-500SP注射泵 -
GSL-1600X-VIGA300氣體霧化金屬粉末制備系統 -
OTF-1200X-5-III-F3LV帶滑動法蘭三溫區CVD系統 -
GSL-1700X-4-C2HV1700℃兩通道混氣高真空CVD系統 -
GSL-1700X-F3LV1700℃單溫區三通道混氣CVD系統 -
OTF-1200X-4- C4LVS1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系 -
OTF-1200X-4-RTP-C3HV高真空快速CVD系統 -
OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV高真空三溫區CVD系統 -
OTF-1200X-F3LV開啟式單溫區低真空CVD系統 -
RTP-1000-F3LV快速升溫CVD系統 -
GSL-1800X-ZF2蒸發鍍膜儀 -
鈣鈦礦鍍膜機 -
GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀 -
GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀 -
GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀 -
VTC-1RF1 英寸小型磁控射頻濺射鍍膜儀 -
3英寸瑪瑙研缽 -
PTL-MM01提拉涂膜機 -
OTF-1200X-4-R-II-AF1200℃自動進出料旋轉爐 -
OTF-1200X-5L-R-III1200℃可傾斜旋轉爐 -
OTF-1200X-4-R-Ⅱ1200℃可傾斜旋轉爐 -
金屬載樣盤
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